Infrastruktur

 

Folgende Anlagen und Charakterisierungsmethoden stehen den Laserfertigungsverfahren für die integrierte Optik zur Verfügung:

  • 2 fs-Laserstrahlquellen zur Strukturierung (Coherent Libra, IMRA µJewel)
  • Präzisionshandhabungssysteme mit einer Positioniergenauigkeit von 100 nm und einer max. Fahrstrecke von 200 mm in der Ebene
  • Hochgeschwindigkeits-Scanner für die Mikrostrukturierung im Volumen
  • Optische Komponenten zur Strahlführung und Messtechnik
  • Läpp- und Polieranlage (Logitech PM)
  • Wellenleitermessplatz, Lock-in-Verstärker, Laserdioden, Filter und Photomultiplier
  • Interferenzmikroskope, diverse Lichtmikroskope
  • Gerätetechnik zur Oberflächenanalyse (REM, EDX, XPS, AES, optische UV-NIR und FT-IR Spektroskopie, Ellipsometrie)
  • Pump-Probe Spektroskopie und Mikroskopie
  • Abbildendes Kurzzeitspektroskop mit ICCD-Kamera mit zeitlicher Auflösung von 200ps
  • Optische Spektroskopie mit gekühlter CCD-Kamera und abbildendendem Spektrometer