Kompetenzen

  Zahnräder aus Quarzglas, 1 mm Durchmesser und 1 mm Höhe Urheberrecht: Fraunhofer ILT Zahnräder aus Quarzglas, 1 mm Durchmesser und 1 mm Höhe

Mit den Laserfertigungsverfahren Mikro- und Nanostrukturierung von Oberflächen oder im Volumen werden mikrostrukturierte Bauteile und integrierte optische Komponenten hergestellt.

Kompetenzen
Durch selektives laserinduziertes Ätzen von transparenten Materialien werden Mikrokanäle, Mikrobauteile und Formbohrungen in Glas und Saphir hergestellt. Das selektive laserinduzierte Ätzen erlaubt eine hohe Präzision bei gleichzeitig großer Produktivität.

Durch Strukturierung im Volumen von transparenten Materialien werden mittels fs-Laserstrahlung 3D-Wellenleiter hergestellt. Bei Verwendung von laseraktiven Gläsern sind kompakte 3-dimensionale Wellenleiterlaser möglich.

Durch Strukturierung von Oberflächen mittels fs-Laserstrahlung werden periodische Nanostrukturen hergestellt mit einer Periode deutlich kleiner als die Wellenlänge der verwendeten Laserstrahlung. Die Riffel sind einerseits für die Mikrostrukturierung von Bedeutung, da sie die erzielbare Präzision begrenzen, andererseits können die Riffel beispielsweise zur Herstellung von 2-D Gittern für optische Komponenten genutzt werden.

Durch Mikrostrukturierung von Schichtsystemen werden durch lokalen Abtrag mit gepulster Laserstrahlung Rippenwellenleiter hergestellt. Die strukturierten Rippenwellenleiter werden poliert, mit Resonatorspiegeln versehen und mit Diodenlasern gepumpt, so dass Wellenleiterlaser resultieren.