Anlagen- und Systemtechnik

 

Laserstrahlquellen

Neben einer Vielzahl an konventionellen Strahlquellen wie Laserdioden, werden von der Gruppe Ultrakurzpulsbearbeitung zur Bearbeitung und Diagnose primär zwei Laserstrahlquellen und ein opto-parametrischer Verstärker verwendet. Die wesentlichsten Spezifikation sind im Folgenden zusammengefasst:

Amphos 500 Flex

Wellenlänge 1030 nm, Pulsdauern von 700 fs bis 8 ps, Repetitionsraten kleiner als 1 MHz via Pulse-picking und von 1,4 MHz bis 54 MHz, maximale Pulsenergie 200 µJ.

Coherent Libra

Wellenlänge 800 nm, Pulsdauern von 80 fs bis 10 ps, Repetitionsrate von Einzelpulsen bis 1 kHz, maximale Pulsenergie 2 mJ, Strahlqualität M² = 1,2.

Coherent Ultrafast Optical Parametric Amplifier

Wellenlängen von 400 nm bis 2700 nm, Pulsdauer 80 fs, Repetitionsraten von Einzelpulsen bis 1 kHz, maximale Pulsenergien von 30 bis 200 µJ.

Weitere Strahlquellen

Darüber hinaus stehen aufgrund der engen Kooperation mit dem Fraunhofer Institut für Lasertechnik ILT eine Vielzahl weiterer Lasersysteme zur Verfügung, siehe Website Fraunhofer ILT.

     

    Scanner- und Positioniersysteme

    Zur Bewegung der Laserstrahlung bzw. des zu bearbeitenden Werkstücks werden diverse Scanner- und Achssysteme verwendet:

    Scanner

    • Galvo-Scanner
    • Polygon-Scanner

    Achsen

    • Aerotech
    • SmarAct
       

      Weitere Anlagen und Messtechnik

      Die Kooperation mit dem Fraunhofer Institut für Lasertechnik ILT ermöglicht den Zugang zu vielen Messtechniken, wie beispielsweise:

      • Vakuumkammer mit Drücken bis zu 10-5 mbar
      • Diverse Lichtmikroskopie in Auf- und Durchlicht
      • Laser-Scanning-Mikroskope
      • Rasterkraft- und Rasterelektronenmikroskope
      • FTIR-Spektrometer