Mikroscanner

  Mikroscanner für 3D-Strukturierung im Volumen Urheberrecht: Fraunhofer ILT Mikroscanner für 3D-Strukturierung im Volumen

Für die produktive Innenstrukturierung werden Mikroscanner entwickelt

Mikroscanner
Für den produktiven Einsatz von ISLE werden hochrepetierende Lasersysteme im MHz-Bereich eingesetzt. Die Laserstrahlung wird mit einem neu entwickelten Mikroscanner im Volumen fokussiert. Unser Mikroscanner hat eine große numerische Apertur (NA=0,4-1,2) für kleine Foki (0,6-2,2 µm) mit großer Präzision (100-400 nm) in Kombination mit großer Geschwindigkeit (50-400 mm/s) und einer Rechner gesteuerten Vorkompensation der sphärischen Abberationen für die Fokussierung ins Volumen. Der n-Scanner ist mit einer 3-Achsen Positionieranlage kombiniert, so dass große flache Werkstücke wie z.B. Scheiben mit einer Dicke von bis zu 2 mm bearbeitet werden können.

  Ein Zahnrad von 1 mm Größe wurde Quarzglas geschnitten. Die Präzision von 1 µm wird bei einer Geschwindigkeit von >100 mm/s erreicht. Urheberrecht: Fraunhofer ILT Ein Zahnrad von 1 mm Größe wurde Quarzglas geschnitten. Die Präzision von 1 µm wird bei einer Geschwindigkeit von >100 mm/s erreicht.

Zur Vorbereitung einer Ausgründung ist für Hochleistungs-fs-Laserstrahlung >100W ein Hochgeschwindigkeits-Mikroscanner entwickelt worden. Eine Scanngeschwindigkeit von > 10 m/s wird bei einem Fokusradius von 1 µm und einer Präzision von 1 µm erreicht und die Skalierbarkeit beispielsweise des ISLE-Prozesses demonstriert.