Investigation of plasma expansion in the PLD process by means of an electrical probe
Bristol / IOP Publ. (1994) [Fachzeitschriftenartikel]
Plasma sources science & technology
Band: 3
Seite(n): 128-133
Autorinnen und Autoren
Autorinnen und Autoren
Brcka, J.
Alunovic, Mirka
Voss, A.
Kreutz, E. W.
Identifikationsnummern
- REPORT NUMBER: RWTH-CONV-058791