Grundlagen Mikro- und Nanostrukturierung

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Der Laser ist als präzises Werkszeug prädestiniert für die Mikro- und Nanostrukturierung von nahezu allen Werkstoffen. Durch Fokussierung der Laserstrahlung werden lokal enorme Leistungsdichten bis zu … auf dem und im Werkstück erreicht. Die effiziente Umsetzung dieser Leistung erfordert eine genaue Kenntnis zur präzisen Kontrolle der Prozesse. Die Anwendungen reichen dabei von der Strukturierung großer Abformwerkzeuge zur Oberflächenfunktionalisierung bis zur Interferenzstrukturierung von Stegbreiten im Nanometerbereich.