Laser transmission bonding of silicon with titanium and copper layer for wafer-level packaging

Wissinger, Ansgar; Schmitz, Moritz; Olowinsky, Alexander; Gillner, Arnold; Poprawe, Reinhart

Pennington, N. J : ECS (2012)
Buchbeitrag, Beitrag zu einem Tagungsband

In: 222nd ECS Meeting: 2012 Fall Meeting of ECSJ ; PRiME 2012 ; Honolulu, HI, October 7-12, 2012 / ECS, Electrochemical Society of Japan
Seite(n)/Artikel-Nr.: 189-198

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