Laser and pinch plasmas X-ray sources for microscopy and lithography. SPIE proc. 2015 (1993), S. 32-44
Berlin ; Offenbach / VDE-Verl. (1993) [Buchbeitrag, Beitrag zu einem Tagungsband]
Proceedings / SPIE, International Society for Optical Engineering : P. - 2015
Seite(n): 32-44
Autorinnen und Autoren
Ausgewählte Autorinnen und Autoren
Neff, W.
Rothweiler, D.
Eidmann, K.
Lebert, R.
Richter, F.
Weitere Autorinnen und Autoren
Winhart, G.
Identifikationsnummern
- REPORT NUMBER: RWTH-CONV-193188