Digital photonic production of micro structures in glass by in-volume selective laser-induced etching using a high speed micro scanner

Gottmann, Jens; Hermans, Martin; Ortmann, Jürgen

Amsterdam [u.a.] / Elsevier (2012) [Beitrag zu einem Tagungsband, Fachzeitschriftenartikel]

Physics procedia
Band: 39
Seite(n): 534-541

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