3D-Microstructuring of sapphire using fs-laser irradiation and selective etching

Hörstmann-Jungemann, Maren; Gottmann, Jens; Keggenhoff, Martin

Osaka : Japan Laser Processing Society (2010)
Fachzeitschriftenartikel

In: Journal of laser micro/nanoengineering
Band: 5
Heft: 2
Seite(n)/Artikel-Nr.: 145-149

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