High speed and high precision Fs-laser writing using a scanner with large numerical aperture

Gottmann, Jens; Hörstmann-Jungemann, Maren; Hermans, Martin; Beckmann, Dennis

Osaka : Japan Laser Processing Society (2009)
Fachzeitschriftenartikel

In: Journal of laser micro/nanoengineering
Band: 4
Heft: 3
Seite(n)/Artikel-Nr.: 192-196

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