Narrowband laser produced extreme ultraviolet sources adapted to silicon/molybdenum multilayer optics

Schriever, Guido; Bergmann, Klaus; Lebert, Rainer

Melville, NY : IOP Publ. (1998)
Fachzeitschriftenartikel

In: Journal of applied physics
Band: 83
Heft: 9
Seite(n)/Artikel-Nr.: 4566-4571

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