Excimer-laser patterning of copper in LDE (laser dry etching)
Amsterdam [u.a.] / Elsevier (1997) [Fachzeitschriftenartikel]
Applied surface science
Band: 109/110
Seite(n): 194-200
Autorinnen und Autoren
Autorinnen und Autoren
Pfleging, W.
Vörckel, A.
Duddek, H.
Wesner, D. A.
Kreutz, Ernst Wolfgang
Identifikationsnummern
- DOI: 10.1016/S0169-4332(96)00659-9
- REPORT NUMBER: RWTH-CONV-035479