Excimer-laser patterning of copper in LDE (laser dry etching)

Amsterdam [u.a.] / Elsevier (1997) [Fachzeitschriftenartikel]

Applied surface science
Band: 109/110
Seite(n): 194-200

Autorinnen und Autoren

Autorinnen und Autoren

Pfleging, W.
Vörckel, A.
Duddek, H.
Wesner, D. A.
Kreutz, Ernst Wolfgang

Identifikationsnummern