Exposure of photosensitive glasses with pulsed UV-laser radiation
Berlin [u.a.] / Springer (2002) [Fachzeitschriftenartikel]
Microsystem technologies
Band: 8
Ausgabe: 2/3
Seite(n): 102-104
Autorinnen und Autoren
Ausgewählte Autorinnen und Autoren
Brokmann, Ulrike
Jacquorie, Markus
Talkenberg, M.
Harnisch, A.
Kreutz, Ernst Wolfgang
Weitere Autorinnen und Autoren
Hülsenberg, Dagmar
Poprawe, Reinhart
Identifikationsnummern
- DOI: 10.1007/s00542-001-0134-x
- REPORT NUMBER: RWTH-CONV-038022