CCl4-assisted CF4 etching of silicon in a microwave-assisted LDE (laser dry etching)-process

Amsterdam [u.a.] / North-Holland (1996) [Beitrag zu einem Tagungsband, Fachzeitschriftenartikel]

Applied surface science
Band: 96-98
Ausgabe: 2
Seite(n): 496-500

Autorinnen und Autoren

Autorinnen und Autoren

Pfleging, Wilhelm
Wesner, David A.
Kreutz, Ernst Wolfgang

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