Investigation of plasma expansion in the PLD process by means of an electrical probe

Brcka, J.; Alunovic, Mirka; Voss, A.; Kreutz, E. W.

Bristol : IOP Publ. (1994)
Fachzeitschriftenartikel

In: Plasma sources science & technology
Band: 3
Seite(n)/Artikel-Nr.: 128-133

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