Nano- and Microstructuring of SiO(2) and Sapphire with Fs-laser Induced Selective Etching

Osaka / Japan Laser Processing Society (2009) [Fachzeitschriftenartikel]

Journal of laser micro/nanoengineering
Band: 4
Ausgabe: 2
Seite(n): 135-140

Autorinnen und Autoren

Autorinnen und Autoren

Hörstmann-Jungemann, Maren
Gottmann, Jens
Wortmann, Dirk

Identifikationsnummern

Quellen