Broadband transmission masks, gratings and filters for extreme ultaviolet and soft X-ray lithography
Amsterdam [u.a.] / Elsevier (2012) [Fachzeitschriftenartikel]
Thin solid films
Band: 520
Ausgabe: 15
Seite(n): 5080-5085
Autorinnen und Autoren
Ausgewählte Autorinnen und Autoren
Brose, Sascha
Danylyuk, Serhiy
Juschkin, Larissa
Dittberner, Carsten
Bergmann, Klaus
Weitere Autorinnen und Autoren
Moers, Jürgen
Panaitov, Gregory
Trellenkamp, Stefan
Loosen, Peter
Grützmacher, Detlev
Identifikationsnummern
- DOI: 10.1016/j.tsf.2012.03.036
- REPORT NUMBER: RWTH-CONV-070193