Laser transmission bonding of silicon to silicon with metallic interlayers for wafer-level packaging

Wissinger, Ansgar; Olowinsky, Alexander; Gillner, Arnold; Poprawe, Reinhart

Berlin [u.a.] : Springer (2012, 2013)
Beitrag zu einem Tagungsband, Fachzeitschriftenartikel

In: Microsystem technologies
Band: 19
Heft: 5
Seite(n)/Artikel-Nr.: 669-673

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