Microwave-assisted laser dry etching of silicon

Bellingham, Wash / SPIE (1995) [Buchbeitrag, Beitrag zu einem Tagungsband]

Laser-induced thin film processing : 8-10 February 1995, San Jose, California / sponsored and publ. by SPIE, the International Society for Optical Engineering. Jan J. Dubowski, chair/ed
Seite(n): 387-393

Autorinnen und Autoren

Autorinnen und Autoren

Pfleging, Wilhelm
Kreutz, Ernst Wolfgang
Wehner, Martin
Lupp, Friedrich G.

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