Laserstrukturierung transparenter, elektrisch leitfähiger Schichten für die organische Elektronik

  • Laser patterning of transparent, conductive layers for organic electronics

Schaefer, Moritz Adrian; Poprawe, Reinhart (Thesis advisor)

Aachen : Publikationsserver der RWTH Aachen University (2013)
Doktorarbeit

Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2013

Kurzfassung

Die Bearbeitung von transparenten, leitfähigen Schichten für die organische Elektronik mittels Laserstrahlung ermöglicht die hochaufgelöste Strukturierung mit Durchsatzraten, die mit schnellen Rolle-zu-Rolle-Druckprozessen kompatibel sind. Die am häufigsten verwendeten transparenten, leitfähigen Schichten ITO und PEDOT/PSS weisen die höchste Absorption im tiefen ultravioletten Spektralbereich (< 250 nm) auf. Die Bearbeitung dieser Materialien mittels Excimerlaserstrahlung der Wellenlängen 193 nm und 248 nm wird in dieser Arbeit untersucht, um die der Strukturierung zugrunde liegenden Prozesse zu charakterisieren. Das Verständnis der in den Materialien ablaufenden Prozesse, die zur Modifikation und zum Abtrag führen, wird systematisch erarbeitet, indem die optischen und elektrischen Eigenschaften der ITO- und PEDOT/PSS-Schichten sowie ihre chemische Zusammensetzung nach der Bestrahlung analysiert werden. Die hierdurch gewonnenen Erkenntnisse liefern die Basis für die materialschonende Strukturierung mit hohem Durchsatz mittels Modifikation unterhalb der Abtragsschwelle.

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