Fabrication of hierarchical structures by direct laser writing and multi-beam-interference
Osaka / JLPS, Japan Laser Processing Society (2013) [Fachzeitschriftenartikel]
Journal of laser micro/nanoengineering
Band: 8
Ausgabe: 3
Seite(n): 210-215
Autorinnen und Autoren
Autorinnen und Autoren
Steger, Michael
Hartmann, Claudia
Beckemper, Stefan
Holtkamp, Jens
Gillner, Arnold
Identifikationsnummern
- DOI: 10.2961/jlmn.2013.03.0005
- REPORT NUMBER: RWTH-CONV-084416