Fabrication of hierarchical structures by direct laser writing and multi-beam-interference

Osaka / JLPS, Japan Laser Processing Society (2013) [Fachzeitschriftenartikel]

Journal of laser micro/nanoengineering
Band: 8
Ausgabe: 3
Seite(n): 210-215

Autorinnen und Autoren

Steger, Michael
Hartmann, Claudia
Beckemper, Stefan
Holtkamp, Jens
Gillner, Arnold