Properties of cubic boron nitride thin films deposited by a hybrid RF-PLD-technique

Klotzbücher, T.; Mergens, M.; Wesner, D. A.; Kreutz, E. W.

Amsterdam [u.a.] : Elsevier, [u.a.] (1998)
Beitrag zu einem Tagungsband, Fachzeitschriftenartikel

In: Surface & coatings technology
Band: 100
Heft: 1/3
Seite(n)/Artikel-Nr.: 388-392

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