Selective, laser induced etching of fused silica at high scan-speeds using KOH

Hermans, Martin; Gottmann, Jens; Riedel, FRank

Osaka / JLPS, Japan Laser Processing Society (2014) [Fachzeitschriftenartikel]

Journal of laser micro/nanoengineering
Band: 9
Ausgabe: 2
Seite(n): 126-131

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