Abscheidung von Neodym-Phosphatglas mittels pulsed laser deposition zur Fertigung integrierter Wellenleiterlaser

Aachen / Publikationsserver der RWTH Aachen University (2010) [Doktorarbeit]

Seite(n): II, 117 S. : Ill., graph. Darst.

Kurzfassung

Die Integration einer Pumpquelle mit einem laseraktiven Material in Form eines Wellenleiterlasers kann erfolgen, in dem z.B. eine dünne laseraktive Schicht direkt vor der Austrittsfacette eines betriebsfähigen Hochleistungsdiodenlasers deponiert und mit diesem monolithisch verbunden wird. Allerdings sind weder das laseraktive Material, welches zur Deposition bei niedrigen Temperaturen und Integration mit opto-elektronischen Bauelementen geeignet ist, noch die zur Realisierung von integrierten Wellenleiterlasern erforderliche Verfahrensparameter bekannt. In dieser Arbeit wurde die Verfahrensentwicklung zur Fertigung eines im infraroten Spektralbereich emittierenden, integrierten, diodengepumpten, planaren Wellenleiterlasers durchgeführt. Dabei ist Pulsed Laser Deposition als ein Verfahren zum Abscheiden von amorphen, transparenten, dünnen und dropletarmen Nd:Phosphatglas-Schichten identifiziert worden und einzelne zur Fertigung eines integrierten Wellenleiterlasers erforderliche Verfahrensschritte sind bestimmt worden.

Autorinnen und Autoren

Autorinnen und Autoren

Ganser, Dimitri

Gutachterinnen und Gutachter

Poprawe, Reinhart

Identifikationsnummern

  • URN: urn:nbn:de:hbz:82-opus-34015
  • REPORT NUMBER: RWTH-CONV-124737