Sublimationsschneiden von Silizium mit ultrakurz gepulster Laserstrahlung

Aachen / Apprimus Verlag (2016) [Dissertation / PhD Thesis]

Page(s): 1 Online-Ressource (Seite i-xix, Seite 1-143) : Illustrationen, Diagramme

Authors

Selected Authors

Fornaroli, Christian

Identifier

  • ISBN: 978-3-86359-453-4
  • URN: urn:nbn:de:hbz:82-rwth-2016-066315
  • REPORT NUMBER: RWTH-2016-06631