Analysis and Evaluation of Boundary Conditions for Direct Surface Structuring by Multi-Beam Interference

Steger, Michael (Corresponding author); Gillner, Arnold

Osaka (2016)
Fachzeitschriftenartikel

In: Journal of Laser Micro/Nanoengineering
Band: 11
Heft: 3
Seite(n)/Artikel-Nr.: 296-303

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