Mehrstrahlinterferenz zur direkten, großflächigen Nanostrukturierung durch Laserablation

Aachen / Apprimus Verlag (2016, 2017) [Buch, Doktorarbeit]

Seite(n): ii,145 Seiten : Illustrationen, Diagramme

Kurzfassung

Thema dieser Arbeit ist die systematische Untersuchung der Mehrstrahlinterferenz für die direkte Strukturierung von Materialien durch Laserablation. Im ersten Schritt wird eine theoretische Analyse der Anforderungen für den direkten Abtrag vorgenommen. Im nächsten Schritt wird als Bindeglied zwischen Theorie und Experiment ein Messverfahren zur Bestimmung des effektiven Interferenzkontrastes entwickelt. Anschließend wird die experimentelle Strukturierung von verschiedenen Materialien untersucht.

Autorinnen und Autoren

Autorinnen und Autoren

Steger, Michael

Gutachterinnen und Gutachter

Poprawe, Reinhart
Ostendorf, Andreas

Identifikationsnummern

  • ISBN: 978-3-86359-515-9
  • REPORT NUMBER: RWTH-2017-04642