Mehrstrahlinterferenz zur direkten, großflächigen Nanostrukturierung durch Laserablation
Aachen / Apprimus Verlag (2016, 2017) [Buch, Doktorarbeit]
Seite(n): ii,145 Seiten : Illustrationen, Diagramme
Kurzfassung
Thema dieser Arbeit ist die systematische Untersuchung der Mehrstrahlinterferenz für die direkte Strukturierung von Materialien durch Laserablation. Im ersten Schritt wird eine theoretische Analyse der Anforderungen für den direkten Abtrag vorgenommen. Im nächsten Schritt wird als Bindeglied zwischen Theorie und Experiment ein Messverfahren zur Bestimmung des effektiven Interferenzkontrastes entwickelt. Anschließend wird die experimentelle Strukturierung von verschiedenen Materialien untersucht.
Autorinnen und Autoren
Autorinnen und Autoren
Steger, Michael
Gutachterinnen und Gutachter
Poprawe, Reinhart
Ostendorf, Andreas
Identifikationsnummern
- ISBN: 978-3-86359-515-9
- REPORT NUMBER: RWTH-2017-04642