Digital photonic production of corundum components by SLE

Aachen (2016, 2017) [Doktorarbeit]

Seite(n): 1 Online-Ressource (xv, 148 Seiten) : Illustrationen, Diagramme

Kurzfassung

In dieser Arbeit wird die digitale photonische Produktion von Korund Komponenten mittels eines selektiven laserbasierten Ätzprozesses (SLE) untersucht. Hierzu wird zunächst die Erzeugung von 2D Korund Komponenten mittels ultrakurz gepulster Laserstrahlung und nachfolgendem Ätzen grundlegend untersucht und optimiert. Basierend auf diesen Erkenntnissen wird die Übertragbarkeit des Prozesses für die photonische Produktion von 2 1/2D und 3D Komponenten gezeigt. Darüber hinaus wird ein Präzisionsscanner mit großer numerischer Apertur (μScanner) entwickelt. Durch die Entwicklung des μScanner wird die Prozesszeit bei der photonis- chen Produktion von Korund Komponenten deutlich verringert. Mit dem entwickelten Scanner können Komponenten individuell und schnell geschrieben werden und somit die Prototypen Entwicklung vorantreiben und eine günstige Kleinserinfertigung ermöglicht werden. Die Herstellung von 2 1/2D Komponenten mit dem μScanner ist sowohl in Saphir als auch in Rubin demonstriert worden.

Autorinnen und Autoren

Autorinnen und Autoren

Hörstmann-Jungemann, Maren

Gutachterinnen und Gutachter

Poprawe, Reinhart
Schmidt, Michael

Identifikationsnummern

  • REPORT NUMBER: RWTH-2017-05508