Rapid nanostructuring using multi-beam-interference with consecutively overlapped ultrashort laser pulses
(2017) [Beitrag zu einem Tagungsband]
[18th International Syposium on Laser Precision Microfabrication, LPM 2017, 2017-06-05 - 2017-06-08, Toyama, Japan]
Seite(n): 4 Seiten
Autorinnen und Autoren
Autorinnen und Autoren
He, Chao
Steger, Michael
Gillner, Arnold
Identifikationsnummern
- REPORT NUMBER: RWTH-2017-07056