In situ investigation of production processes in a large chamber scanning electron microscope
Amsterdam / Elsevier Science (2018) [Fachzeitschriftenartikel]
Ultramicroscopy
Band: 193
Seite(n): 151-158
Autorinnen und Autoren
Ausgewählte Autorinnen und Autoren
Aretz, Anke
Ehle, Lisa Christine
Häusler, André
Bobzin, Kirsten
Öte, Mehmet
Weitere Autorinnen und Autoren
Wiesner, Stefanie
Schmidt, Alexander
Gillner, Arnold
Poprawe, Reinhart
Mayer, Joachim
Identifikationsnummern
- DOI: 10.1016/j.ultramic.2018.07.002
- REPORT NUMBER: RWTH-2018-227142