Einflussfaktoren auf die Emissionseigenschaften einer EUV Strahlungsquelle im Langzeitbetrieb

Aachen / Apprimus Verlag (2020) [Buch, Doktorarbeit]

Seite(n): v, 132 Seiten : Illustrationen, Diagramme

Kurzfassung

online nicht verfügbar

Autorinnen und Autoren

Autorinnen und Autoren

Vieker, Jochen

Gutachterinnen und Gutachter

Poprawe, Reinhart
Bleiner, Davide

Identifikationsnummern

  • ISBN: 978-3-86359-859-4
  • REPORT NUMBER: RWTH-2020-07801