Einflussfaktoren auf die Emissionseigenschaften einer EUV Strahlungsquelle im Langzeitbetrieb

Aachen / Apprimus Verlag (2020) [Book, Dissertation / PhD Thesis]

Page(s): v, 132 Seiten : Illustrationen, Diagramme

Abstract

Authors

Authors

Vieker, Jochen

Advisors

Poprawe, Reinhart
Bleiner, Davide

Identifier

  • ISBN: 978-3-86359-859-4
  • REPORT NUMBER: RWTH-2020-07801