Laserstrahlungsunterstütztes PVD-Verfahren

Düsseldorf (1992) [Contribution to a book]

Dünnschichttechnologien
Page(s): 568

Authors

Selected Authors

Kreutz, E. W.
Krösche, M.
Sung, H.
Voss, A.
Leyendecker, T.

Other Authors

Lemmer, O.
Erkens, G.

Identifier

  • REPORT NUMBER: RWTH-CONV-103067