EUV dark-field microscopy for nanoscale defect inspection

Maryasov, Aleksey; Herbert, Stefan; Juschkin, Larissa; Brose, Sascha; Aretz, A.; Heiss, A.; Trellenkamp, St.; Loosen, Peter

Jülich [u.a.] / Forschungszentrum Jülich ; RWTH Aachen University (2010) [Buchbeitrag]

JARA FIT Jülich Aachen Research Alliance for Fundamentals of Future Information Technologies : Annual Report 2009 / Eds.: Wolfgang Albrecht, Markus Morgenstern, Detlev Grützmacher
Seite(n): 91-92

Identifikationsnummern

  • REPORT NUMBER: RWTH-CONV-105572