Mikro- / Nanofertigungstechnik mit Laserstrahlung

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Schneiden von Dünnglas mit Pikosekundenlaser Urheberrecht: Fraunhofer ILT, Aachen / Volker Lannert Schneiden von Dünnglas mit Pikosekundenlaser

Die Vorlesung Mikro- / Nanofertigungstechnik mit Laserstrahlung befasst sich mit der Anwendung von Laserstrahlung in der Mikro-/Nanotechnik, Elektronik und Feinwerktechnik. Ergänzt werden diese eher klassischen Anwendungsgebiete durch Medizintechnik, Biotechnologie und Mikrochemie. Hierfür werden zu Beginn der Vorlesung die Grundlagen der Wechselwirkung von Photonen mit Materie behandelt. Dabei werden sowohl Gleichgewichtsprozesse als auch Nichtgleichgewichtsprozesse bei der Ultrakurzpulsbearbeitung betrachtet. Darauf aufbauend wird der Energietransfer über Wärmeleitung für unterschiedliche Werkstoffe diskutiert. Diese grundlegenden Erläuterungen dienen als Basis für die Behandlung der verschiedenen klassischen Lasermikrobearbeitungsverfahren wie Abtragen, Bohren und Fügen als auch Verfahren wie photochemische und photothermische Werkstoffmodifikation, Photopolymerisation, Lithographieverfahren und Interferenzverfahren zur Nanostrukturierung. Neben einer Betrachtung der verschiedenen Prozessgrundlagen werden auch die eingesetzten Laserstrahlquellen und die für die verschiedenen Prozesse erforderliche Systemtechnik behandelt. In diesem Kontext werden auch Methoden zur Prozesskontrolle erläutert und vorgestellt.

Vorlesung und Übung Kontakt M.Eng. Maximilian Brosda
Prüfung Information:

Die Prüfung findet abhängig von der Teilnehmerzahl mündlich bzw. schriftlich statt.

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Lehrstuhl für Lasertechnik
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